FBAR : Film Bulk Acoustic Resonator

• 電波フィルターとして利用される
  • E.g. 携帯電話
• 圧電フィルム振動子
  • AlN, ZnO
• 厚さ〜1 μm, 幅〜100 μm
• 共振周波数 〜1.9GHz
• 約3,000,000要素　350MBメモリー
• 解析時間：４〜５時間