cMUT

• Capacitive Micro-Machined Ultrasonic Transducer
• 半導体デバイスと類似した製法
• 静電力を利用した振動子
• 構造大変形を考慮
• 非線形性を考慮
  • 振動による電界分布が変化
  • 面接触解析機能
• PZFlex + cMUT optionにより解析が可能