位相シフトマスク計算例

解析の概要

位相シフトマスクの計算例です。

項目		設定値
空間構成	解析空間	300 × 3,500 × 2,000 [nm]
	最小セルサイズ	△ x = 10, △ y = 9.94, △ z = 9 [nm]
	セル数（解析空間）	2,106,000
計算ステップ	時間ステップ△t	1.833e-17 [s]
	計算ステップ数	1,500
励振	Sin波	f = 821.37 [THz] （λ= 365.243） 平面波、垂直入射
	励振時間	t e= 2.749e-14 [s]

モデル図 側面に周期境界条件を適用し、金属にはDrude材料を適用しています。

	電界強度Ｅコンター図（定常状態）
	電界| Ez | ラインプロット